廠內新增FE-SEM (Jeol-7600) 熱場發顯微鏡設備

場發射掃描式電子顯微鏡(FESEM)除了跟傳統掃描式電子顯微鏡相同地可觀察物體之微結構外，因具備高電場所發射之電子束徑小、亮度高，具有傳統掃描式電子顯微鏡所明顯不及之高解析度，其解析度可高達0.7nm(15kV)、0.7nm(1kV)，另可在低電壓(0.01kV )下操作，可直接觀察非導體之樣品。 本儀器型號為日本 JEOL JSM-7800F Prime Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope(熱場發射掃描式電子顯微鏡)。另加裝X光能量散譜儀( X-ray Energy Dispersive Spectrometer, EDS )及背向散射電子繞射儀(Electron Back-Scattered Diffraction, EBSD)，可對材料做進一步微區元素定性與定量分析及材料晶體結構和在空間中的幾何方向。